光谱椭偏仪
光谱椭偏仪
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品牌:
J.A.WOOLLAM
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型号:
V.VASE
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产地:
中国
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启用日期:
2014-01-19
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学科领域:
信息科学与系统科学
仪器信息
- 仪器名称:
- 光谱椭偏仪
- 英文名称:
- spectroscopic ellipsometer
- 所属分类:
- 分析仪器 > 光谱仪器 > 其他
- 学科领域:
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信息科学与系统科学
- 技术指标:
- 主要规格及技术指标: 两个机械臂测试时自动变角范围可达20度—90度; 测量提供的输入光的光谱范围为:193nm—3200nm。 聚焦在待检测材料上的光斑直径可以接近200微米。手动样品移动台可以在X和Y方向上移动,移动范围是45mm。单色仪结构:双腔结构,三光栅Czerny-Turner设计。狭缝精度5微米,波长准确性优于0.5nm。固定起偏器类型格兰-泰勒型,消光比在全波长范围内优于5X10-6。自动相位延迟。
- 主要功能:
- 主要功能及特色(应用范围): 主要功能为:检测材料的特性,包括材料的折射率,薄膜的计算分析,拟合出薄膜的膜系结构等;再者可以用于偏振全息实验分析,利用光谱分析仪对偏振光检测的特点。 特色是软件效率高,人机交互友好,控制精度高。
服务信息
- 服务内容:
- 信息与电子
- 收费标准:
- 详见设备信息(预约网址)
- 用户须知:
- 用户在对仪器进行测试前,应仔细阅读设备使用手册,熟悉设备操作流程。
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