光谱椭偏仪

    光谱椭偏仪

    • 品牌: J.A.WOOLLAM
    • 型号: V.VASE
    • 产地: 中国
    • 启用日期: 2014-01-19
    • 学科领域: 信息科学与系统科学

    仪器信息

    仪器名称:
    光谱椭偏仪

    英文名称:
    spectroscopic ellipsometer

    所属分类:
    分析仪器 > 光谱仪器 > 其他

    学科领域:
    信息科学与系统科学

    技术指标:
    主要规格及技术指标: 两个机械臂测试时自动变角范围可达20度—90度; 测量提供的输入光的光谱范围为:193nm—3200nm。 聚焦在待检测材料上的光斑直径可以接近200微米。手动样品移动台可以在X和Y方向上移动,移动范围是45mm。单色仪结构:双腔结构,三光栅Czerny-Turner设计。狭缝精度5微米,波长准确性优于0.5nm。固定起偏器类型格兰-泰勒型,消光比在全波长范围内优于5X10-6。自动相位延迟。

    主要功能:
    主要功能及特色(应用范围): 主要功能为:检测材料的特性,包括材料的折射率,薄膜的计算分析,拟合出薄膜的膜系结构等;再者可以用于偏振全息实验分析,利用光谱分析仪对偏振光检测的特点。 特色是软件效率高,人机交互友好,控制精度高。

    服务信息

    服务内容:
    信息与电子

    收费标准:
    详见设备信息(预约网址)

    用户须知:
    用户在对仪器进行测试前,应仔细阅读设备使用手册,熟悉设备操作流程。

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