离子束纳米多层膜制备系统

离子束纳米多层膜制备系统

• 品牌： 北师大低能所
• 型号： FM2000
• 产地： 中国
• 启用日期： 2007-11-30
• 学科领域： 核科学技术

仪器信息

仪器名称：

离子束纳米多层膜制备系统




英文名称：

Ion beam depostion system




所属分类：

工艺试验仪器 > 其他 > 其他




学科领域：

核科学技术




技术指标：

沉积元素：金属、合金、碳； 脉冲弧宽度：2.5mS； 弧电流：80-100A




主要功能：

注入元素：金属、合金及碳离子 脉宽：1.2 mS；频率0-25Hz；引出电压20-80KV；束流5-10mA




服务信息

服务内容：

金属离子注入、金属离子及其氧化物氮化物等镀膜




收费标准：

面议




用户须知：

无