沉积注入机
- 品牌： 龙口比特有限公司
- 型号： CHZ-2600
- 产地： 中国
- 启用日期： 2003-11-30
- 学科领域： 核科学技术
- 仪器名称：
- 沉积注入机
- 英文名称：
- Ion Implanter
- 所属分类：
- 工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 其他
- 学科领域：
- 核科学技术
- 技术指标：
- 直径600mm球形真空室，两个180度偏转磁过滤弧源，一个低能MEVVA离子源（加速电压0-50KV离子种类，各种可导电的固态元素的离子，平均离子流强度10mA）
- 主要功能：
- 金属离子注入，磁过滤等离子体沉积镀膜
- 服务内容：
- 提供多种固体可加工导电材料元素的离子进行低能离子注入，DLC/taC薄膜沉积，金属薄膜沉积，离子注入与沉积复合制备高结合强度薄膜。
- 收费标准：
- 面议
- 用户须知：
- 无
沉积注入机
仪器信息
服务信息