光刻机
- 品牌： SUSS
- 型号： MJD4
- 产地： 德国
- 启用日期： 2009-12-31
- 学科领域： 电子与通信技术 化学工程
- 仪器名称：
- 光刻机
- 英文名称：
- Alinger
- 所属分类：
- 工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备
- 学科领域：
- 电子与通信技术 化学工程
- 技术指标：
- 分辨率好于0.8μM，正面套准精度±0.5μM，背面套准分离度2-55μM
- 主要功能：
- 图形转移
- 服务内容：
- 掩膜对准曝光：先在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。
- 收费标准：
- 面议
- 用户须知：
- 无
光刻机
仪器信息
服务信息