化学分析电子谱微探针X光电子能谱仪
化学分析电子谱微探针X光电子能谱仪
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品牌:
PHYSICAL ELECTRONICS
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型号:
QUANTUM 2000
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产地:
美国
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启用日期:
2002-04-07
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学科领域:
化学
仪器信息
- 仪器名称:
- 化学分析电子谱微探针X光电子能谱仪
- 英文名称:
- Scanning ESCA Microprobe
- 所属分类:
- 分析仪器 > 电子光学仪器 > 电子能谱仪
- 学科领域:
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化学
- 技术指标:
- X-ray光源:Al阳极靶,扫描式单色器;
束斑:10 μm~200 μm,一般100 μm~200 μm;
能量分析仪:180o半球形分析器+16通道检测器,
基础真空:5×10?1? torr
检测范围:原子序数大于He的所有元素;
检测极限:0.5~0.01 atomic%
信息深度:0.5~7.5 nm
能量分辨率:优于0.5 eV(Ag);
空间分辨率:优于10 μm
半定量:相对原子灵敏度因子法
- 主要功能:
- 检测固体材料表面或纵深方向的元素组成及分布,通过元素结合能位置了解元素化学状态或键合状态。任何固体样品均可,但不得具有磁性、毒性、辐射性及易挥发性。
具有先进的自动电中和功能,可消除非导体样品的荷电位移影响;
仪器同时具有角分辨XPS功能及氩离子深度剖析功能;
具有元素影像扫描功能;
通过仪器附带的SPS工作台,可方便进行样品元素的化学微区分析(100~200 μm)。
服务信息
- 服务内容:
- 检测固体材料表面或纵深方向的元素组成及分布,通过元素结合能位置了解元素化学状态或键合状态
(除H、He外所有元素)
- 收费标准:
- 校内: 600元/时
,校外: 普通样品
600元/样,特殊样
品另议
- 用户须知:
- 详见实验处网站
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