高温金属有机物化学气相沉积系统

高温金属有机物化学气相沉积系统

• 品牌： AIXTRON
• 型号： 3x2 FT
• 产地： 英国
• 启用日期： 2013-11-25
• 学科领域： 物理学

仪器信息

仪器名称：

高温金属有机物化学气相沉积系统




英文名称：

High-temperature metal-organic chemical vapor deposition system




所属分类：

工艺试验仪器 > 其他 > 其他




学科领域：

物理学




技术指标：

高温 MOCVD系统（3X2” Flip Top CCS MOCVD System）其主要特征是反应室能达到1300摄氏度以上的高温,为实现高质量AlN基半导体材料提供制备手段。主要组成部分包括： 1. CCS MOCVD：反应室部分，材料制备的最关键部分，包括加热器，样品托； 2. Gas Delivery system：气路部分，包括气动阀门以及压力和流量监控； 3. Process Control：控制电路部分； 4. Gas Purification：气体纯化部分，包括氢气，氮气和氨气的纯化器；




主要功能：

（1）生长温度可以到1300摄氏度以上；*（2）原位双波段反射谱，可以检测材料生长速率和表面形貌的变化；*（3）原位温度监测；*（4）原位应力监控。




服务信息

服务内容：

（1）生长温度可以到1300摄氏度以上；*（2）原位双波段反射谱，可以检测材料生长速率和表面形貌的变化；*（3）原位温度监测；*（4）原位应力监控。




收费标准：

根据具体实验项目协商




用户须知：

《北京大学仪器设备管理办法》（校发[2006]262号）和《北京大学大型仪器设备管理办法 校发[2006]263号》。我校大型仪器设备实行“专管共用、开放共享”的管理体制，按照优先满足校内教学科研需求、积极开展校外服务的原则实施开放共享工作。