高压探针台
- 品牌： CASCADE
- 型号： Tesla T200M-AP
- 产地： 美国
- 启用日期： 2013-12-03
- 学科领域： 信息科学与系统科学
- 仪器名称：
- 高压探针台
- 英文名称：
- high voltage probe station
- 所属分类：
- 工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 其他
- 学科领域：
- 信息科学与系统科学
- 技术指标：
- 该设备是市面上唯一一家高压探针台，能提供10000V/ 100A测试规格，同时达到fA级别低漏电，并提供主动式安全防护（通过CE、UL、TUV等欧美安规认证），是在提供高性能测试规格同时，唯一兼顾使用者安全的探针台。
- 主要功能：
- 其的主要功能指标为：**1、*兼容从8英寸硅片至单芯片器件的量测。**2、*配置Cascade专利之微暗箱（Microchamber），可实现超低漏电流量测：常温常压条件下晶片载台漏电流小于50fA，高温（300度）高压（1100V或3000V）条件下漏电流小于5pA。**3、*晶片载台和探针及电缆均采用特殊金属材料制造，可支持超高功率器件的量测：**4、*三轴模式下最高支持3000V电压量测，两轴模式下最高支持10000V电压量测。**5、*支持最高脉冲电流60A，持续电流10A量测。**6、*支持20
- 服务内容：
- 其的主要功能指标为：**1、*兼容从8英寸硅片至单芯片器件的量测。**2、*配置Cascade专利之微暗箱（Microchamber），可实现超低漏电流量测：常温常压条件下晶片载台漏电流小于50fA，高温（300度）高压（1100V或3000V）条件下漏电流小于5pA。
- 收费标准：
- 根据具体实验项目协商
- 用户须知：
- 《北京大学仪器设备管理办法》（校发[2006]262号）和《北京大学大型仪器设备管理办法 校发[2006]263号》。我校大型仪器设备实行“专管共用、开放共享”的管理体制，按照优先满足校内教学科研需求、积极开展校外服务的原则实施开放共享工作。
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