等离子增强化学气相沉积系统与反应离子刻蚀系统

等离子增强化学气相沉积系统与反应离子刻蚀系统

• 品牌： NANO-MASTER
• 型号： NRP-4000
• 产地： 美国
• 启用日期： 2013-11-19
• 学科领域： 信息科学与系统科学

仪器信息

仪器名称：

等离子增强化学气相沉积系统与反应离子刻蚀系统




英文名称：

Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition




所属分类：

工艺试验仪器 > 其他 > 其他




学科领域：

信息科学与系统科学




技术指标：

根据不同材料 成膜速率10nm/min 折射率良好 均匀度偏差小于5%




主要功能：

制备高介电常数、均匀、致密的绝缘层薄膜




服务信息

服务内容：

制备高介电常数、均匀、致密的绝缘层薄膜




收费标准：

根据具体实验项目协商




用户须知：

《北京大学仪器设备管理办法》（校发[2006]262号）和《北京大学大型仪器设备管理办法 校发[2006]263号》。我校大型仪器设备实行“专管共用、开放共享”的管理体制，按照优先满足校内教学科研需求、积极开展校外服务的原则实施开放共享工作。