溅射台

溅射台

• 品牌： MANTIS
• 型号： QBOX450
• 产地： 英国
• 启用日期： 2013-11-19
• 学科领域： 信息科学与系统科学

仪器信息

仪器名称：

溅射台




英文名称：

Radio Frequecy Magnitron Sputtering




所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 其他




学科领域：

信息科学与系统科学




技术指标：

根据不同材料 平均生长速率为0.5nm/min 均匀性偏差小于5%




主要功能：

用磁控溅射的方法淀积均匀致密的薄膜




服务信息

服务内容：

用磁控溅射的方法淀积均匀致密的薄膜




收费标准：

根据具体实验项目协商




用户须知：

《北京大学仪器设备管理办法》（校发[2006]262号）和《北京大学大型仪器设备管理办法 校发[2006]263号》。我校大型仪器设备实行“专管共用、开放共享”的管理体制，按照优先满足校内教学科研需求、积极开展校外服务的原则实施开放共享工作。