等离子增强型原子层淀积系统

等离子增强型原子层淀积系统

• 品牌： 牛津
• 型号： OPAL
• 产地： 英国
• 启用日期： 2013-12-19
• 学科领域： 信息科学与系统科学

仪器信息

仪器名称：

等离子增强型原子层淀积系统




英文名称：

Atomic Layer Deposition System




所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 其他




学科领域：

信息科学与系统科学




技术指标：

Al2O3: 均匀性3% ，击穿电场8MV/cm， 介电常数8.5 HfO: 均匀性3%，击穿电场3MV/cm，介电常数17




主要功能：

实行原子层级的薄膜材料淀积，能够达到1nm厚度的氧化物薄膜淀积工艺。




服务信息

服务内容：

实行原子层级的薄膜材料淀积，能够达到1nm厚度的氧化物薄膜淀积工艺。




收费标准：

根据具体实验项目协商




用户须知：

《北京大学仪器设备管理办法》（校发[2006]262号）和《北京大学大型仪器设备管理办法 校发[2006]263号》。我校大型仪器设备实行“专管共用、开放共享”的管理体制，按照优先满足校内教学科研需求、积极开展校外服务的原则实施开放共享工作。