原子层沉积系统

原子层沉积系统

• 品牌： Cambridge Nanotech
• 型号： Savannah-100
• 产地： 美国
• 启用日期： 2013-11-04
• 学科领域： 物理学

仪器信息

仪器名称：

原子层沉积系统




英文名称：

Atomic Layer Deposition




所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 其他




学科领域：

物理学




技术指标：

原子层沉积是通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应腔使之在基体上化学吸附并反应形成沉积膜的一种技术，可以以单原子膜形式一层一层地在基底表面沉积薄膜。




主要功能：

可以生长多种氧化物薄膜。




服务信息

服务内容：

可以生长多种氧化物薄膜。




收费标准：

1000元开机费和15纳米以下镀膜，15纳米以上另加50元/纳米，20纳米以上加75元/纳米。




用户须知：

《北京大学仪器设备管理办法》（校发[2006]262号）和《北京大学大型仪器设备管理办法 校发[2006]263号》。我校大型仪器设备实行“专管共用、开放共享”的管理体制，按照优先满足校内教学科研需求、积极开展校外服务的原则实施开放共享工作。