脉冲激光沉积设备

脉冲激光沉积设备

• 品牌： NBM
• 型号： NBM PLD
• 产地： 美国
• 启用日期： 2013-07-18
• 学科领域： 信息科学与系统科学

仪器信息

仪器名称：

脉冲激光沉积设备




英文名称：

PULSED LASER DEPOSITION system




所属分类：

工艺试验仪器 > 加工工艺实验设备 > 电加工工艺实验设备




学科领域：

信息科学与系统科学




技术指标：

片径：2”，基本压力：5×10-7torr，衬底加温：950度，靶：3个2”或6个1”，激光：248-nm (KrF)。




主要功能：

多材料淀积




服务信息

服务内容：

多材料淀积




收费标准：

根据具体实验项目协商




用户须知：

《北京大学仪器设备管理办法》（校发[2006]262号）和《北京大学大型仪器设备管理办法 校发[2006]263号》。我校大型仪器设备实行“专管共用、开放共享”的管理体制，按照优先满足校内教学科研需求、积极开展校外服务的原则实施开放共享工作。