采用闭环扫描头设计,XY:100um全范围扫描定位精度±1nm,Z:15um;Noise levers:X-Y0.3nm linearized,Z0.15nm;Z轴采用精密步进马达执行智能式下针;激光使用低干涉激光光源,可消除去与荧光或上光源之相关实验可能产生之交互影响;接触式原子力模式,间歇接触式原子力模式,相位模式,侧向力模式;单点式力场曲线;力谱分析模式;SPM硬件系统:4×16 bit DACs,8 input channels available by MUX-selection of 2×16 bit DACs。