薄膜厚度测量仪（台阶仪）
- 品牌： 美国KLA TENCOR公司
- 型号： P-16+
- 产地： 美国
- 启用日期： 2013-06-12
- 学科领域： 材料科学
- 仪器名称：
- 薄膜厚度测量仪（台阶仪）
- 英文名称：
- Film Thickness Measuring instrument（step tester）
- 所属分类：
- 物理性能测试仪器 > 其他 > 其他
- 学科领域：
- 材料科学
- 技术指标：
- 1）测量模式：接触式测量； 2)纵向加载力范围：0.1-100mg； 3) 最大扫描长度: 150 mm (不能拼接,一次就能扫完)，横向分辨率：0.1 ？m；4) 最大纵向量程：？300 ？m，纵向位移分辨率：0.1nm； 5)最大样品高度：？30mm；6)系统具有超平坦化玻璃参考面滑行运动模式样品台；7) XY 运动台 闭环控制,精度高 ,误差＜1um, 闭环自动移动范围不少于150×150mm；8) 包括数据分析和处理系统软件，测量数据可输出和存储；9) 具有薄膜应力的测量功能和应力测试软件
- 主要功能：
- 轮廓膜厚分析仪是专门为薄膜高级表征的设备，主要用于测试： 1、薄膜、涂层厚度测量； 2、台阶高度测量； 3、表面粗糙度测量； 4、二维薄膜应力测量； 5、平坦度、波纹度、曲率测量； 6、表面轮廓（缺陷、形貌等）测量。
- 服务内容：
- 主要为校内外及学术研究机构等部门提供分析测试服务,
- 收费标准：
- 实验室内：25 校内：50 校外：100
- 用户须知：
- 《武汉理工大学大型仪器设备共享开放管理实施细则（试行）》 《武汉理工大学大型精密仪器设备管理与使用效益考核实施细则（试行）》
薄膜厚度测量仪（台阶仪）
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